微电子学院成功举办武汉纺织大学第141期学术沙龙

3月27日上午，微电子学院在阳光校区建全会堂阳光厅举办了第141期学术沙龙。本期学术沙龙邀请了国内半导体材料与先进制造领域的两位知名教授，围绕宽禁带半导体紫外发光材料和大尺寸晶圆加工技术进行学术报告，学院师生及相关科研人员踊跃参加，现场交流热烈。会议由微电子学院院长陈长清教授主持。

沙龙于上午10点开始，由北京大学许福军教授主讲《AlGaN基宽禁带半导体紫外发光材料和器件研究》。许福军教授为国家高层次人才、国家重点研发计划项目负责人，在宽禁带半导体材料与深紫外发光器件领域具有丰富的科研经验和重要学术成果。许教授系统介绍了团队在AlGaN异质结构MOCVD外延生长、掺杂调控及缺陷控制方面的最新进展，并重点分享了深紫外发光材料与器件制备的创新成果。他指出，AlGaN紫外发光器件在环境监测、医疗消毒及高精度光谱探测等领域具有重要应用价值。报告结合实验数据和研究案例，展示了团队在国内外同行中具有影响力的科研成果，引发现场师生的广泛讨论。

紧接着，万青教授带来题为《大尺寸晶圆超平整临时键合与精密减薄》的报告。万青教授为甬江实验室功能材料与器件异构集成研究中心主任，杰出青年基金获得者，国家领军人才计划入选者，在晶圆级加工及先进封装领域具有深厚学术造诣。万教授从先进封装和三维集成制造的技术需求出发，讲解了晶圆级临时键合与精密减薄的原理及工艺关键点，并结合团队在大尺寸硅、氮化镓晶圆加工中的应用案例，阐述了超平整临时键合界面控制和低残余应力减薄工艺的技术创新。他强调，该技术为大尺寸功率器件、高密度互联及先进封装提供了可靠的技术支撑，并展示了在工业化应用中的潜力。报告结束后，现场师生就工艺优化及应用前景展开了热烈交流。

本次学术沙龙由武汉纺织大学微电子学院主办，并依托宽禁带半导体材料与器件湖北省工程研究中心的平台，紧扣半导体材料及先进制造前沿问题，内容深入浅出、紧贴科研与工程实践，不仅为师生提供了了解前沿技术的平台，也促进了学院师生之间的学术交流与合作。微电子学院相关负责人表示，学院将持续搭建高水平学术交流平台，推动科研创新，助力人才培养，为学院学科建设和科研发展注入新的活力。